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営業サービス
         
  ● 研究装置開発サポート    
     
・APIイオン源
・質量分析装置
・微量不純物発生(PPT)
・クラスター 〜 ナノ粒子生成等
     ・プラズマクリーニングシステム
・大気圧リーク検査システム(燃料電池等)
・特殊ガス純化装置(ゲッター、触媒等)
※ これ以外にも各種対応いたします。まずはご相談下さい。
  
   ● 有償分析      
     
・現地分析
・ウエハー分析
・破壊分析
・水枯特性
     fieldAnalysis
(現地分析例)
  
   ● APIMSの販売      
        
   ● APIMSの保守点検      
        
   ● ガスモニターの開発・販売      
        
   ● 周辺装置の開発・販売      
     
APIMSに関する様々な周辺装置を開発しています。 labo
(八王子実験室)
  
   ● 半導体製造装置のクリーンルーム組立・検査      
        
   ● 高純度ガス配管の施工・検査      
     
tube1 tube2
(施工例)
  
   ● HYPER処理 (Hydrogen Perfect Cleaning)      
     
ガス配管等を組立てた状態で不純物を1ppbにクリーニングします。
 ・ガスパネル、ガス切替システム、ガス純度管理モニター用配管
 ・半導体工場向けの高純度配管
(応用例)
 ・バルブ、マスフロー、フィルター
 ・真空部品、装置
 ・半導体ウエハー、液晶基板
  
   ● 新素材の販売      
     
原子内包フラーレンの販売を行っています。 fullerene
  
 
問い合わせはこちら(info@apinet.co.jp)まで



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